มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อระบบห้อง Cleanroom เนื่องจากต้องควบคุมให้ระบบห้อง Cleanroom เป็นไปตามข้อกำหนด เพื่อไม่ให้กระทบต่อกระบวนการหรือผลผลิตในอุตสาหกรรมนั้น ๆ อาทิเช่น
- อุณหภูมิ
- จำนวนหรืออนุภาคต่าง ๆ
- ความชื้น
- แสงสว่าง
- เสียง
- แรงดับอากาศภายในห้อง
- อัตราการไหลของอากาศ